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J-GLOBAL ID：200903074205060340

試料の内部欠陥評価装置

Inventor： 吉田 尚幸 ,  住江 伸吾 ,  高松 弘行 ,  森本 勉
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 本庄 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994172184
Publication number (International publication number)：1996035934
Application date： Jul. 25, 1994
Publication date： Feb. 06, 1996
Summary：

【要約】【目的】 本発明はフォトルミネッセンス光(以下PL)により試料の内部欠陥を評価する装置に係り,比較的簡便に試料内部の特定深さ位置からのPLを測定して,該試料内部の欠陥を評価することのできる内部欠陥評価装置の提供を目的とする。【構成】 励起光源11からの励起光10が集光してPLが発生する試料16内部での焦点位置と,このPLを集光して通過させる位置,すなわち,ピンホール19aを設けた位置とが対応するため,この試料16の焦点位置からのPLのみを確実に検出装置27に導いてその評価をすることができる。そして,レンズ15(第1のレンズ手段)と試料16の相対距離を変化させてその焦点位置を変えることで,試料16における特定の深さ位置からのPLのみを効率よく検出することができる。

Claim (excerpt)：

励起光源からの励起光を試料に照射することにより発生するフォトルミネッセンス光を検出装置により検出し,上記試料の内部欠陥を評価する装置において,上記試料からのフォトルミネッセンス光の光路上に試料表面の法線方向に光軸を向けて配置される第1のレンズ手段と,上記第1のレンズ手段を上記フォトルミネッセンス光の光軸方向へ相対的に移動させる移動手段と,上記第1のレンズ手段を通る光を集光する第2のレンズ手段と,上記検出装置に併設され,上記第1のレンズ手段の焦点位置からのフォトルミネッセンス光のみを該検出装置に向けて通過させるマスク手段とを具備してなることを特徴とする試料の内部欠陥評価装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01N 21/84 ,  H01L 21/66