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J-GLOBAL ID：200903074206463626

パターン検査装置

Inventor： 肥塚 哲男 ,  柿木 義一 ,  安藤 護俊 ,  須藤 嘉規
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992345047
Publication number (International publication number)：1994058731
Application date： Dec. 25, 1992
Publication date： Mar. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 透光性の配線基板のパターンの形状を検査するパターン検査装置に関し、特にパターンの平面形状はもとより立体形状をも能率良く検査できるパターン検査装置の提供を目的とする。【構成】 配線基板10を別々の方向から照射する複数の照射ランプ31,32 及びこの配線基板の裏面を垂直に照射する照射ランプ33と、配線基板10の表面を映像信号で出力する撮像手段34と、撮像手段34から配線基板10の映像信号を入力し、配線基板10のパターン12の幅を算出し、このパターン12の良否判定を行なう二次元論理回路35と、照射ランプ32,33 により照射された配線基板10を撮影した撮像手段34より映像信号を入力し、こパターン12が配線基板10の表面に作り出す影パターンの幅を算出し、このパターン12の良否判定を行なう三次元論理回路36,37 とを含んでなるパターン検査装置において、照射ランプ31,32,33が互いに異なる光の三原色の一つをそれぞれ発光するとともに、撮像手段34をカラーテレビジョンカメラで構成する。

Claim (excerpt)：

透光性を有する配線基板(10)の表面に別々の方向から光を斜めに照射する複数の照射手段(31,32) 及びこの配線基板(10)の裏面に光を垂直に照射する照射手段(33)と、前記配線基板(10)の表面をその真正面から撮影し、この配線基板(10)の表面を映像信号で出力する撮像手段(34)と、前記照射手段(33)により照射された前記配線基板(10)を撮影した前記撮像手段(34)より映像信号を入力し、この映像信号から配線基板(10)のパターン(12)の幅を算出し、このパターン(12)の良否判定を行なう二次元論理回路(35)と、前記複数の照射手段(32,33) により照射された前記配線基板(10)を撮影した前記撮像手段(34)より映像信号を入力し、この映像信号からパターン(12)が配線基板(10)の表面に作り出す影パターン(12a,12b) の幅を算出し、パターン(12)の良否判定を行なう三次元論理回路(36,37) とを含んでなるパターン検査装置において、前記照射手段(31,32,33)が発生する光の色がそれぞれ異なるとともに、前記撮像手段(34)が色弁別撮像手段であることを特徴とするパターン検査装置。

IPC (6)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G03F 1/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66 ,  H05K 3/00