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J-GLOBAL ID：200903074215010731

光スイッチング素子およびその製造方法、並びに画像表示装置

Inventor： 牧野 拓也 ,  石川 博一
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 藤島 洋一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001134564
Publication number (International publication number)：2002328313
Application date： May. 01, 2001
Publication date： Nov. 15, 2002
Summary：

【要約】【課題】 簡単な構成で、小型軽量であると共に、速い動きの動画表示が求められる直視・反射型画像表示装置にも好適に用いることができる高速応答可能なカラー表示用の光スイッチング素子を提供する。【構成】 光スイッチング素子10は、基板11の上に、赤色,緑色,青色表示用光学多層構造体10R,10G,10Bを有する。各層(または間隙部)の膜厚(または大きさ)は各色で異なり、グレースケールマスクまたはリフトオフ法を用いて形成される。赤色,緑色,青色表示用間隙部13R,13G,13Bの大きさを変化させることにより、入射した光の反射、透過若しくは吸収の量を変化させ、カラー表示を行う。基板11は例えばカーボン(C)、第1の層12R,12G,12Bは例えばタンタル(Ta)、第2の層14R,14G,14Bは例えば窒化珪素(SiNx )により形成される。

Claim (excerpt)：

基板上に、光の吸収のある赤色表示用の第1の層、光の干渉現象を起こしうる大きさを有すると共にその大きさが可変な赤色表示用間隙部、および赤色表示用の第2の層を配設した構造を有する赤色表示用光学多層構造体と、前記基板上に、光の吸収のある緑色表示用の第1の層、光の干渉現象を起こし得る大きさを有すると共にその大きさが可変な緑色表示用間隙部、および緑色表示用の第2の層を配設した構造を有する緑色表示用光学多層構造体と、前記基板上に、光の吸収のある青色表示用の第1の層、光の干渉現象を起こし得る大きさを有すると共にその大きさが可変な青色表示用間隙部、および青色表示用の第2の層を配設した構造を有する青色表示用光学多層構造体と、前記赤色表示用間隙部、前記緑色表示用間隙部または前記青色表示用間隙部の光学的な大きさを変化させる駆動手段とを有し、前記駆動手段によって前記赤色表示用間隙部、前記緑色表示用間隙部または前記青色表示用間隙部の大きさを変化させることにより、入射した光の反射、透過もしくは吸収の量を変化させることを特徴とする光スイッチング素子。

IPC (4)：

G02B 26/02 ,  B81B 5/00 ,  B81C 1/00 ,  G02B 5/28

FI (4)：

G02B 26/02 E ,  B81B 5/00 ,  B81C 1/00 ,  G02B 5/28

F-Term (19)：

2H041AA02 ,  2H041AA04 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ03 ,  2H041AZ08 ,  2H048GA01 ,  2H048GA07 ,  2H048GA09 ,  2H048GA12 ,  2H048GA22 ,  2H048GA23 ,  2H048GA25 ,  2H048GA35 ,  2H048GA51 ,  2H048GA57 ,  2H048GA60 ,  2H048GA61

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 光変調素子および表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-015520   Applicant：帝人株式会社
• 表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-076760   Applicant：新日本製鐵株式会社