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J-GLOBAL ID：200903074219271300
電子顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994298171
Publication number (International publication number)：1996162056
Application date： Dec. 01, 1994
Publication date： Jun. 21, 1996
Summary：
【要約】【目的】 高倍率観察時に問題となる走査コイルのノイズを低減する。【構成】 走査コイルを偏向感度の大きな第一走査コイル7と偏向感度の小さい第二走査コイル8により構成し、低倍率観察時には偏向感度の大きな第一走査コイル7を用い、高倍率観察時には偏向感度の小さい第二走査コイル8に切り替える。【効果】 電子線を偏向する走査電流のノイズ電流の観察像に与える影響を著しく低減することができる。
Claim (excerpt)：
電子源と、電子レンズと、電子線偏向手段とを含む電子顕微鏡において、前記電子線偏向手段は偏向感度の異なる複数の偏向コイルと、低倍率観察時には偏向感度の高い偏向コイルを選択し高倍率観察時には偏向感度の低い偏向コイルを選択する偏向コイル選択手段を備えることを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (2)：
H01J 37/147
, H01J 37/141
