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J-GLOBAL ID：200903074293637740

硬質物質被覆ウエハ-及びその製造方法

Inventor： 田辺 敬一朗 ,  関 裕一郎 ,  池ケ谷 明彦 ,  藤森 直治
Applicant, Patent owner： 住友電気工業株式会社
Agent (1)： 川瀬 茂樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994165914
Publication number (International publication number)：1996017693
Application date： Jun. 24, 1994
Publication date： Jan. 19, 1996
Summary：

【要約】【目的】 従来、ダイヤモンド、ダイヤモンド状炭素、c-BNのようにバルクの結晶を作りにくい材料に関して広い面積の基板が存在しなかった。これら硬質物質の大面積ウエハを提供することが本発明の目的である。【構成】 広い面積を有する既存のウエハの上に、硬質物質膜を膜側が凸になるように気相成長させる。膜側が凸である複合材料をホルダ-面が傾き得るようにした研磨装置によって研磨し、薄膜の全面を研磨する。これにより反りのある平滑な硬質物質の大面積のミラ-ウエハを得ることができる。

Claim (excerpt)：

わずかな反りのある基板と、気相合成法により基板の少なくとも1面に被覆されたビッカ-ス硬度Hvが3000以上の硬質物質よりなる被膜とよりなり、板厚が0.1mm〜2.1mmであり、外径が1インチΦ以上であって、硬質物質被膜の面粗度が、Rmax500Å(50nm)以下であり、Raが200Å(20nm)以下である部分が50%以上存在し、かつ、基板が硬質物質被膜の側に凸に反っており、周辺部の中央部に対する高さΔHが、-150μm≦ΔH≦-2μmであるようにしたことを特徴とする硬質物質被覆ウエハ-。

IPC (4)：

H01L 21/02 ,  B24B 1/00 ,  C30B 25/16 ,  H01L 21/304 321