FePt磁性薄膜の製造方法

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001288171
Publication number (International publication number)：2003099920
Application date： Sep. 21, 2001
Publication date： Apr. 04, 2003
Summary：

【要約】【課題】規則化のために成膜後に600°C以上の高温に熱処理したり、高い保磁力を低温で実現するために第3元素を添加したりすることなく、成膜直後に規則化されたL10構造のFePt相を得る。【解決手段】基板を200〜300°Cに加熱しながらスパッタ法により成膜し、成膜中に薄膜表面で起こる原子の表面拡散によりFePt相の規則化を進行させ、成膜直後に規則化されたL10構造のFePt相を得る。

Claim (excerpt)：

基板を200〜300°Cに加熱しながらスパッタ法により成膜し、成膜中に薄膜表面で起こる原子の表面拡散によりFePt相の規則化を進行させ、成膜直後に規則化されたL10構造のFePt相を得ることを特徴とするFePt磁性薄膜の製造方法。

IPC (8)：

G11B 5/851 , C23C 14/14 , C23C 14/34 , G11B 5/65 , G11B 5/73 , G11B 5/738 , H01F 10/14 , H01F 41/18

FI (8)：

G11B 5/851 , C23C 14/14 F , C23C 14/34 P , G11B 5/65 , G11B 5/73 , G11B 5/738 , H01F 10/14 , H01F 41/18

F-Term (32)：

4K029AA04 , 4K029AA06 , 4K029AA09 , 4K029AA24 , 4K029BA01 , 4K029BA11 , 4K029BA16 , 4K029BA22 , 4K029BA26 , 4K029BB02 , 4K029BC06 , 4K029BD11 , 4K029CA05 , 4K029EA08 , 5D006BB05 , 5D006BB07 , 5D006CA01 , 5D006CB04 , 5D006EA03 , 5D112AA02 , 5D112AA03 , 5D112AA05 , 5D112BA02 , 5D112BA03 , 5D112BB02 , 5D112BB06 , 5D112BD02 , 5D112FA04 , 5E049AA01 , 5E049BA06 , 5E049GC01 , 5E049GC02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

高密度情報記録媒体及びその媒体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-276414 Applicant：秋田県
磁気記録媒体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-375476 Applicant：株式会社東芝
規則合金薄膜からなる情報記録媒体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-162318 Applicant：秋田県

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