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J-GLOBAL ID：200903074318796768
洗浄装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992193727
Publication number (International publication number)：1994045306
Application date： Jul. 21, 1992
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：
【要約】【構成】洗浄装置本体21内で、被洗浄物24に発泡性のある液を噴出させると泡11が発生する。泡11を泡導管2で細管形成構造体室1に導く。細管形成構造体室1内には細管形成物4を固定した細管形成構造体3が設置されている。細管形成物4は泡を形成する液を吸収できる材料を用いている。細管形成構造体室1に導かれた泡11は、細管形成物4と接触して泡を形成する液が吸収されて泡内部の気体が開放されて消える。【効果】発泡性のある液体で洗浄しても発生した泡を消泡でき、望まれる洗浄条件で運転できる。
Claim (excerpt)：
発泡性のある液体を被洗浄物に吹き付けて洗浄する洗浄装置において、前記液体を吸収できる細管形成構造体を前記液体が吹き付けられない位置に設置し、前記液体の吹き付けで発生した泡を前記細管形成構造体に接触させて前記泡の構成液を前記細管形成構造体に吸収させることにより破泡させることを特徴とする洗浄装置。
IPC (3)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, B08B 3/10
