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J-GLOBAL ID：200903074336828332
イオン注入装置におけるウェハ載置用ゴム板の押付け用モールド加工方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
後藤 洋介 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991089308
Publication number (International publication number)：1993211129
Application date： Mar. 29, 1991
Publication date： Aug. 20, 1993
Summary：
【要約】【目的】 イオン注入装置のウェハ保持部にウェハ載置用のゴム板を貼り付けるために使用されるモールドを改良してゴム板とウェハとの密着性及びウェハのスティッキング防止に寄与せしめる。【構成】 モールド(25)をその周縁部において固定状態とし、このモールドの被加工面とは反対側の面の中心部に押付け力を作用させた状態で前記被加工面にフライス加工を施すことにより、前記被加工面が凹球面となるようにした。この凹球面をゴム板への押圧面としてゴム板をウェハ保持部にセットする。
Claim (excerpt)：
所定形状のモールドをその周縁部において固定し、該モールドの被加工面とは反対側の面の中心部に押付け力を作用させた状態で前記被加工面にフライス加工を施すことにより、前記被加工面が凹球面となるようにしたことを特徴とするイオン注入装置におけるウェハ載置用ゴム板の押付け用モールド加工方法。
IPC (2)：
H01L 21/265
, H01J 37/317
