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J-GLOBAL ID：200903074345164048

エキシマレーザーによる透明部材の加工方法およびその加工品

Inventor：
樋口 俊郎

About 樋口 俊郎

, 
鳥居 徹

About 鳥居 徹

, 
谷口 友宏

About 谷口 友宏


Applicant, Patent owner：
科学技術振興事業団

About 科学技術振興事業団


Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000280025
Publication number (International publication number)：2002087834
Application date： Sep. 14, 2000
Publication date： Mar. 27, 2002
Summary：
【要約】【課題】 エキシマレーザーを用いて透明部材内部への可視形状の微細加工をガラス上部より直接照射して行うことができるエキシマレーザーによる透明部材の加工方法およびその加工品を提供する。【解決手段】 エキシマレーザー12の焦点位置を横方向でかつ上方に移動すると、それに対応して微小な変質部分11Bの位置をa→b→cへと移動させることができる。また、1mm厚若しくはそれ以上の石英ガラス11に対して、エキシマレーザー12のエネルギーを1パルス当たり0.25J/cm2 から1.2J/cm2 に変化させて石英ガラス11上部より照射する。このとき、焦点はガラス内部11Aに合わせておく(d位置)。次に、エキシマレーザー12のエネルギーが0.25J/cm2 になると、板厚の1/2近傍にてガラスに微小な変質部分11Cが入り(e位置)、エネルギーを増加させるにつれて、微小な変質部分の位置が表面に近づく。なお、ガラスの最上層への微小な変質部分の形成は、1.2J/cm2 となる。
Claim (excerpt)：
エキシマレーザーの所定の照射エネルギーを透明部材に照射して、前記透明部材内に微小な変質部分を生じさせ、前記透明部材内に可視形状を形成することを特徴とするエキシマレーザーによる透明部材の加工方法。
IPC (10)：
C03B 20/00 ,  B23K 26/00 ,  C03C 23/00 ,  G02B 1/02 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/18 ,  G02B 5/32 ,  G03H 1/04 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/225
FI (11)：
C03B 20/00 Z ,  B23K 26/00 G ,  B23K 26/00 N ,  C03C 23/00 Z ,  G02B 1/02 ,  G02B 3/00 Z ,  G02B 5/18 ,  G02B 5/32 ,  G03H 1/04 ,  H01S 3/00 B ,  H01S 3/223 E
F-Term (29)：
2H049AA02 ,  2H049AA12 ,  2H049AA33 ,  2H049AA43 ,  2H049AA45 ,  2H049AA60 ,  2H049CA05 ,  2H049CA22 ,  2H049CA28 ,  2K008BB03 ,  2K008DD02 ,  2K008DD22 ,  2K008EE07 ,  2K008HH01 ,  4E068CA02 ,  4E068CA03 ,  4E068CA11 ,  4E068DB13 ,  4G014AH08 ,  4G014AH23 ,  4G059AA01 ,  4G059AA13 ,  4G059AB05 ,  4G059AC30 ,  5F071AA06 ,  5F071JJ10 ,  5F072AA06 ,  5F072SS06 ,  5F072YY06
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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