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J-GLOBAL ID：200903074403508240
走査型レーザー変位計
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995028778
Publication number (International publication number)：1996201036
Application date： Jan. 25, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：
【要約】【目的】 従来知られる光学的三角測量方式を用いて被測定物の表面の2次元形状を測定する走査型レーザー変位計の測定精度を簡単な構成によって誤差が少なく且つ測定精度が向上した走査型レーザー変位計を提供する。【構成】 レーザービームを走査する第1の走査手段と、前記走査ビームを平行走査ビームに変換するビーム変換手段と、この平行走査ビームを被測定物の測定面に対して略垂直方向に走査させ、この平行走査ビームの走査により前記測定面から反射された拡散光を受けるスキャナミラーを設けた第2の走査手段と、第2の走査手段の反射光を集光する集光レンズと、集光された光像点の変位を検出する位置検出手段とを有し、上記第2の走査手段は第1の走査手段の走査周期と同期している。
Claim (excerpt)：
レーザービームを走査する第1の走査手段から扇状に走査ビームを走査し、ビーム変換手段により前記走査ビームを平行走査ビームに変換した後、この平行走査ビームを被測定物の測定面に対して略垂直方向に走査させ、該平行走査ビームの走査により前記測定面から反射された拡散光を、前記第1の走査手段の走査周期と同期して駆動するスキャナミラーを有する第2の走査手段により、集光レンズを介して位置検出手段に集光させることを特徴とする走査型レーザー変位計。
IPC (2)：
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