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J-GLOBAL ID：200903074411350818

微細格子およびその製造方法

Inventor： 栗原 健二 ,  柴山 昭則
Applicant, Patent owner： エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002245843
Publication number (International publication number)：2004085831
Application date： Aug. 26, 2002
Publication date： Mar. 18, 2004
Summary：

【課題】反射防止構造体として好適な微細格子及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板上に微細な円錐形状やピラミッド状の突起を2次元に配列する際に、その配列周期を基本となる周期を中心に変動させて配列したり、突起の高さを変動させて配列ことにより光の回折による影響が低減でき、理想的な反射防止構造が形成できる。また、このような配列周期が変動するパターンを描画するために、電子ビーム露光装置の偏向器に微小な変動信号を重畳することで、周期的パターンデータを用いて変動する周期のパターンを形成できる。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

基板上に微細な突起またはホール状のパターンが連続に配列されて成る微細格子において、パターンの配列周期を変動させて配列したことを特徴とする微細格子。

IPC (2)：

G02B1/11 ,  G03F7/20

FI (3)：

G02B1/10 A ,  G03F7/20 501 ,  G03F7/20 504

F-Term (6)：

2H097CA16 ,  2H097LA20 ,  2K009AA12 ,  2K009BB11 ,  2K009DD05 ,  2K009DD12

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-075702
  
• 反射防止フィルムおよびその製造方法ならびに画像表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-300189   Applicant：アルプス電気株式会社
• 微細構造の形成方法及び光学素子の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-065641   Applicant：キヤノン株式会社
• 光学素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-309906   Applicant：科学技術振興事業団