Pat
J-GLOBAL ID：200903074430560874
アーク式蒸発源
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山本 惠二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991198669
Publication number (International publication number)：1993017866
Application date： Jul. 11, 1991
Publication date： Jan. 26, 1993
Summary：
【要約】【目的】 炭素カソードを有効に利用することができ、しかも大きな固まりの粒子が飛散するのを抑制することができるようにしたアーク式蒸発源を提供する。【構成】 このアーク式蒸発源は、カソードに細長い棒状の炭素カソード32を用いており、かつこの炭素カソード32を送り出すカソード送り装置56を設けた。
Claim (excerpt)：
炭素カソードにおけるアーク放電を利用して炭素を蒸発させるアーク式蒸発源において、前記炭素カソードとして細長い棒状のものを用い、かつこの炭素カソードを送り出すカソード送り装置を設けたことを特徴とするアーク式蒸発源。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Return to Previous Page
