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J-GLOBAL ID：200903074469988600
マルチチャンバシステム
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992107693
Publication number (International publication number)：1993304197
Application date： Apr. 27, 1992
Publication date： Nov. 16, 1993
Summary：
【要約】【目的】 マルチチャンバシステムにおける搬送チャンバへの被処理部材搬出入のための連結ポートの使用数を減少すると共にロードロックチャンバを小型化して、プロセスチャンバへの不純物の侵入を軽減すると共にスペース効率の良い安価なロードロック装置を提供する。【構成】 その内部に搬送システム2xを備えた搬送チャンバ2に設けた連結ポート2b,2fにプロセスチャンバ9,10を連結し、連結ポート2c,2eに建屋の搬送ライン13,14に連なるバッファチャンバ11,12を連結し、更に、連結ポート2dに被処理部材を大気中のローダ17により単品単位で搬出入するのに要する小容積の唯一のロードロックチャンバ16を連結した。
Claim (excerpt)：
複数の連結ポートを有し、その内部に被処理部材搬送手段を備えた搬送チャンバと、前記連結ポートに連結されたプロセスチャンバと、前記連結ポートを建屋の搬送ラインに連結するバッファチャンバとを備えたマルチチャンバシステムにおいて、前記連結ポートの1つに被処理部材を大気中の被処理部材保持手段に相対して単品単位で搬出入する唯一のロードロックチャンバを連結したことを特徴とするマルチチャンバシステム。
IPC (6)：
H01L 21/68
, B25J 18/02
, C23C 14/56
, C30B 25/08
, C30B 25/12
, H01L 21/02
Cited by examiner (9)
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