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J-GLOBAL ID：200903074504711667
電子線照射装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
工藤 実
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002275417
Publication number (International publication number)：2004109063
Application date： Sep. 20, 2002
Publication date： Apr. 08, 2004
Summary：
【課題】複数本のフィラメントが配置される非走査型電子線照射装置において、各々のフィラメントに供給される電気エネルギーを実質的に均等とすることの可能な構成を有する非走査型電子線照射装置を提供する。【解決手段】本発明の電子線照射装置10A〜10Fは、電気エネルギーを供給される複数のフィラメント▲1▼〜▲6▼と、電源15に接続され、前記電源15から前記各々のフィラメント▲1▼〜▲6▼に供給される電気エネルギーが実質的に均等になるように、前記各々のフィラメント▲1▼〜▲6▼と接続される電極とを具備する。前記電極は、第1電極と第2電極とを含み、前記各々のフィラメント▲1▼〜▲6▼は、前記第1電極と前記第2電極の各々に接続される。ここで、電極は、22A〜22Eである。前記第1電極は、22A、22D、22Eであり、第2電極は、上記の電極のうち、第1電極を除いたものに相当する。【選択図】 図6
Claim (excerpt)：
電気エネルギーを供給される複数のフィラメントと、
電源に接続され、前記電源から前記各々のフィラメントに供給される前記電気エネルギーが実質的に均等になるように、前記各々のフィラメントと接続される電極とを具備し、
前記電極は、第1電極と第2電極とを含み、前記各々のフィラメントは、前記第1電極と前記第2電極の各々に接続される
電子線照射装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (1)：
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