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J-GLOBAL ID：200903074532636530

ウェハ搬送装置

Inventor： 中村 和憲
Applicant, Patent owner： 株式会社安川電機
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996056808
Publication number (International publication number)：1997232404
Application date： Feb. 19, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ウェハ搬送ロボットの取付け面に対するウェハ搬送ロボットのアーム先端の傾きを検出し、ウェハ搬送ロボットに取付けた搬送フォークが隣接する他のウェハに接触しないようにする。【解決手段】 ウェハカセット8に収納されたウェハ12を、ウェハ搬送室1に設置されたウェハ搬送ロボット3のアームに取付けた搬送フォーク7に載置して搬送するウェハ搬送装置において、ウェハ搬送室1に、ウェハ搬送ロボットのアームを伸長し、伸長したアーム先端の裏面に近接させたセンサー14を設け、ウェハ搬送ロボットの取付け面2aに対するウェハ搬送ロボットのアーム先端の前方への傾きを検出するようにしている。

Claim (excerpt)：

ウェハカセットに収納されたウェハを、ウェハ搬送室に設置されたウェハ搬送ロボットのアームに取付けた搬送フォークに載置して搬送するウェハ搬送装置において、前記ウェハ搬送室に、ウェハ搬送ロボットのアームを伸長し、伸長したアーム先端の裏面に近接させたセンサーを設け、前記ウェハ搬送ロボットの取付け面に対するウェハ搬送ロボットのアーム先端の傾きを検出するようにしたことを特徴とするウェハ搬送装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 543 ,  B65G 49/07

FI (3)：

H01L 21/68 A ,  B65G 1/00 543 A ,  B65G 49/07 E