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J-GLOBAL ID：200903074542007876

磁気ヘッドの製造方法

Inventor： 藤沢 政泰 ,  今山 寛隆 ,  深沢 克也 ,  赤松 潔 ,  薗部 秀樹 ,  名手 和男 ,  戸川 衛星 ,  萩原 芳樹
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992015682
Publication number (International publication number)：1993210818
Application date： Jan. 31, 1992
Publication date： Aug. 20, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明の目的は、レジスト等のマスク材のクラック、気泡の発生がなく、膜厚むらを抑えたフィルムをマスクとして用いることにより、優れたレール加工精度を実現し、曲線や直線の組み合わせからなる複雑な形状のレールを加工しうる磁気ヘッドの製造方法を提供することにある。【構成】 空気ベアリング面をなすレールを有する磁気ヘッドの製造方法において、磁気ヘッド材に係るヘッドブロック2の被加工面2 ́上にフィルム3を圧着する工程と、前記フィルム3上に所定のレール形状のマスクパターン4を形成する工程と、前記マスクパターン4を用いてエッチング手段によりパターニングする工程と、前記パターニングされたフイルム5をマスクとして噴射加工により前記ヘッドブロック2の被加工面2 ́を加工する工程と、前記被加工面上にパターニングされたフィルム5の残膜を剥離する工程とからなることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

空気ベアリング面をなすレールを有する磁気ヘッドの製造方法において、磁気ヘッド材の被加工面上にフィルムを密着する工程と、前記フィルム上に所定のレール形状のマスクパターンを形成する工程と、前記マスクパターンを用いてエッチング手段によりパターニングする工程と、前記パターニングされたフイルムをマスクとして噴射加工により前記磁気ヘッド材の被加工面を加工する工程と、前記被加工面上にパターニングされたマスクの残膜を剥離する工程とからなることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。

IPC (4)：

G11B 5/187 ,  B24C 1/04 ,  G11B 5/60 ,  G11B 21/21 101