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J-GLOBAL ID：200903074548408767

フッ素系エッチングガス又はクリーニングガスを分解する方法

Inventor： 福島 守之 ,  馬場 昭 ,  吉原 稔 ,  表 雄一
Applicant, Patent owner： 関東電化工業株式会社
Agent (1)： 湯浅 恭三 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993267350
Publication number (International publication number)：1995116466
Application date： Oct. 26, 1993
Publication date： May. 09, 1995
Summary：

【要約】【目的】 フッ素原子含有ガスを含む排ガスについての従来の燃焼式の分解処理法の欠点を軽減、解消する新方式の処理方法を提供すること。【構成】 フッ素原子を含有するエッチングガスもしくはクリーニングガス又はこれらを含む排ガスを、水又は/及び酸素を含むガスの存在下で500〜1500°Cの温度において、フッ化水素処理無機酸化物からなる分解剤と接触させることを特徴とするフッ素系エッチングガス又はクリーニングガスを分解する方法、及びさらに分解ガスを吸着剤と接触させ清浄、無害化する方法。

Claim (excerpt)：

フッ素原子を含有するエッチングガスもしくはクリーニングガス又はこれらを含む排ガスを、水又は/及び酸素を含むガスの存在下で500〜1500°Cの温度において、フッ化水素処理無機酸化物からなる分解剤と接触させることを特徴とするフッ素系エッチングガス又はクリーニングガスを分解する方法。

IPC (4)：

B01D 53/68 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/81 ZAB ,  B01D 53/70

FI (3)：

B01D 53/34 134 Z ,  B01D 53/34 ZAB B ,  B01D 53/34 134 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-181316
  
• 特開平3-181316
  
• 特開平3-181316
  
• 特開平3-181316