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J-GLOBAL ID:200903074548631814

透明板状体の欠点検出方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 坂本 栄一
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995022432
Publication number (International publication number):1996220021
Application date: Feb. 10, 1995
Publication date: Aug. 30, 1996
Summary:
【要約】【目的】従来困難であった非常に微小もしくは淡いディストーションを伴った欠点を安価にしかも確実に検出可能にした透明板状体の欠点検出方法を提供することを目的とする。【構成】本発明は、光源からの光を光源近くに設けた複数の微小な遮光部と透光部が交互に形成されたスリット板を通して透明板状体に投光し、透明板状体を挟んで前記光源とは反対側に設けた一次元カメラにより、濃淡の変化を撮像し、画像処理装置により欠点を検出する方法において、カメラの焦点をスリット板の遮光部と投光部の濃淡レベルの合成波形の最大値と最小値の差が最小となる位置近傍に焦点を合わて欠点像を検出するようにしたことを特徴とする。
Claim (excerpt):
光源からの光を光源近くに設けた複数の微小な遮光部と透光部が交互に形成されたスリット板を通して透明板状体に投光し、透明板状体を挟んで前記光源とは反対側に設けた一次元カメラにより、濃淡の変化を撮像し、画像処理装置により欠点を検出する方法において、カメラの焦点をスリット板の遮光部と投光部の濃淡レベルの合成波形の最大値と最小値の差が最小となる位置近傍に焦点を合わて欠点像を検出するようにしたことを特徴とする透明板状体の欠点検出方法。
IPC (4):
G01N 21/89 ,  G01N 21/88 ,  G06T 1/00 ,  G06T 7/00
FI (4):
G01N 21/89 D ,  G01N 21/88 J ,  G06F 15/64 320 C ,  G06F 15/62 400
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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