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J-GLOBAL ID：200903074570671650

炭化珪素体の製造方法

Inventor： 田島 善光 ,  古川 勝紀 ,  鈴木 彰
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992019235
Publication number (International publication number)：1993221796
Application date： Feb. 04, 1992
Publication date： Aug. 31, 1993
Summary：

【要約】【目的】 多形性の制御された炭化珪素体を提供する。【構成】 昇華再結晶法を利用した炭化珪素体の製造方法であって、所定の割合でアルミニウムを含む炭化珪素粉末を、窒素を含む不活性ガス雰囲気下で昇華させ、再結晶する工程を包含する。昇華再結晶時の不活性ガスの圧力は200torr以下とし、且つ圧力の変化率を毎分5torr以下とする。

Claim (excerpt)：

昇華再結晶法を利用した炭化珪素体の製造方法であって、所定の割合でアルミニウムを含む炭化珪素粉末を、窒素を含む不活性ガス雰囲気下で昇華させ、再結晶する工程を包含し、該昇華および再結晶時に、該窒素を含む不活性雰囲気ガスの圧力を200torr以下とし、かつ圧力の変化を毎分5torr以下とする、炭化珪素体の製造方法。