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J-GLOBAL ID：200903074570991930

力成分を測定する単結晶材料製のデバイスおよびこのデバイスの製造方法およびこのデバイスの使用方法

Inventor： アンダーソン、ガート
Applicant, Patent owner： アンダーソン、ガート
Agent (1)： 富田 和子 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1994513062
Publication number (International publication number)：1996504035
Application date： Dec. 02, 1993
Publication date： Apr. 30, 1996
Summary：

【要約】垂直平面に対して傾斜した少なくとも1本のカンチレバービーム(1,2,3,4)及びこれに付加された慣性質量を有する、力成分を測定するための単結晶材料製のデバイスを開示する。特に、垂直平面に対するカンチレバービームの角度が、単結晶材料のエッチングにより得られるとともに、当該ビームを構成する結晶面の1つの傾きによって定まり、主として当該カンチレバービームの垂直平面に対して傾斜した曲げが、当該ビームに対して生じることを特徴とする。このデバイスの製造方法も開示する。

Claim (excerpt)：

垂直平面に対して傾斜した少なくとも1本のカンチレバー(1,2,3,4)およびこれに付加された慣性質量(1’,2’,3’,4’)を有する、力成分を測定するための単結晶材料製のデバイスであって、垂直平面に対する前記カンチレバーの角度は前記単結晶材料のエッチングにより得られ、当該ビームを構成する結晶面の1つの傾きにより定まり、かつ実質的に、前記カンチレバービームの、前記垂直平面に対する傾斜した曲げが当該ビームに対して生じることを特徴とするデバイス。

IPC (2)：

G01P 15/12 ,  H01L 29/84