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J-GLOBAL ID：200903074571148586

導電性パターンの製造方法

Inventor： 加藤 裕
Applicant, Patent owner： 凸版印刷株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992066150
Publication number (International publication number)：1993275831
Application date： Mar. 24, 1992
Publication date： Oct. 22, 1993
Summary：

【要約】【構成】ラングミュアーブロッジェット法により製膜した有機脂肪酸膜をパタニングした後、重合することにより導電性を示す反応性前駆体を前記有機脂肪酸上にラングミュアーブロッジェット法により積層し、光照射により該有機脂肪酸上の前駆体部分を選択的に重合させ導電性を付与することを特徴とする導電性パターンの製造方法。【効果】本発明によれば、サブミクロン程度の極めて微細な導電性パターンを、マスクを用いずに平面上のみならず従来ではパターンの描けなかった端面や側面あるいは湾曲部分にも形成することが可能である。

Claim (excerpt)：

ラングミュアーブロッジェット法により製膜した有機脂肪酸膜をパタニングした後、重合することにより導電性を示す反応性前駆体を前記有機脂肪酸上にラングミュアーブロッジェット法により積層し、光照射により該有機脂肪酸上の前駆体部分を選択的に重合させ導電性を付与することを特徴とする導電性パターンの製造方法。

IPC (3)：

H05K 3/10 ,  H01B 13/00 503 ,  H01L 21/3205