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J-GLOBAL ID：200903074580781399

露光装置用ランプ装置

Inventor： 濱谷 正人
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 立石 篤司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995290381
Publication number (International publication number)：1997106076
Application date： Oct. 12, 1995
Publication date： Apr. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 光学部材の光学反射面や透過面に曇りが発生することがなく、ランプを十分に冷却することができ、しかもメンテナンス性を向上させる。【解決手段】 ユニット12ではランプハウス50を含む循環経路内をケミカルクリーンなエアーを冷却しつつ循環させるので、ランプハウス50内の送光光学系を構成する光学部材の光学反射面や透過面に曇りが発生することがなく、従って、本装置を露光装置の光源装置として使用した場合に、光学系の透過率の低下により露光装置の性能低下を招く等の不都合も防止することができる。また、循環中、ランプ56の発熱によりランプハウス50内のエアーの温度は上昇するが、ユニット12により冷却しつつ循環されるので、ランプ56の冷却に支障をきたすという不都合も生じえない。

Claim (excerpt)：

ランプとこのランプから発せられる光を集光して送出する送光光学系とが収納されたランプハウスと;前記ランプハウスを含む循環経路内をケミカルクリーンなガスを冷却しつつ循環させる冷却循環手段とを有する露光装置用ランプ装置。

IPC (4)：

G03F 7/20 521 ,  G03B 27/52 ,  G03B 27/54 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/20 521 ,  G03B 27/52 B ,  G03B 27/54 Z ,  H01L 21/30 515 C ,  H01L 21/30 527