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J-GLOBAL ID：200903074588724831

メンブレンフィルター表面の異物除去方法

Inventor： 八巻 由孝 ,  大内田 淳一
Applicant, Patent owner： 野村マイクロ・サイエンス株式会社
Agent (1)： 須山 佐一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991076181
Publication number (International publication number)：1995016438
Application date： Apr. 09, 1991
Publication date： Jan. 20, 1995
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、簡単な操作でメンブレンフィルター表面の微粒子数を大幅に減少させることのできるメンブレンフィルター表面の異物除去方法である。【構成】 メンブレンフィルター表面に付着した異物を除去する方法において、前記メンブレンフィルター表面に粘着性物質を接触させた後、前記粘着性物質を剥離することにより、前記メンブレンフィルター表面に付着した異物を粘着フィルムに転写させて除去する。

Claim (excerpt)：

メンブレンフィルター表面に付着した異物を除去する方法において、前記メンブレンフィルター表面に粘着性物質を接触させた後、前記粘着性物質を剥離することにより、前記メンブレンフィルター表面に付着した異物を粘着フィルムに転写させて除去することを特徴とするメンブレンフィルター表面の異物除去方法。