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J-GLOBAL ID:200903074591487735
カンチレバー、及びこれを利用したカンチレバー型プローブ、及びカンチレバー型プローブを用いた走査型トンネル顕微鏡、情報処理装置
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993049855
Publication number (International publication number):1994241781
Application date: Feb. 17, 1993
Publication date: Sep. 02, 1994
Summary:
【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡や情報処理装置に用いられ、反りを低減し歩留まりを向上した薄膜積層体からなるカンチレバー状変位素子を提供する。【構成】 圧電体膜と電極膜とを積層して形成されるカンチレバーの上下面に、圧電体膜よりも大きい線熱膨張係数を有する金属膜を、カンチレバー中の残留応力を補償するためのトリミング用部材として設けたカンチレバー。
Claim (excerpt):
薄膜を積層して形成されるカンチレバーに、該カンチレバー中の残留応力を補償するトリミング用部材を設けたことを特徴とするカンチレバー。
IPC (3):
G01B 21/30
, G11B 9/00
, H01J 37/28
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