Pat

J-GLOBAL ID：200903074592755083

走査式顕微鏡の焦点補正方法及び走査式顕微鏡

Inventor： 河村 一郎
Applicant, Patent owner： 株式会社東京精密
Agent (1)： 石田 敬 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000151671
Publication number (International publication number)：2001330779
Application date： May. 23, 2000
Publication date： Nov. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】 試料面の全面を走査せずに且つ測定点を制限されることなく、高いスループットで高精度に焦点合わせできる走査式顕微鏡の実現。【解決手段】 同一形状を有する複数の領域101 が形成された試料100 の表面を走査して表面画像を生成する走査式顕微鏡であって、走査を行うと共に走査位置を示す走査位置信号を出力する走査機構11,16 と、走査式顕微鏡の焦点状態を変化させる焦点調整機構12,16 と、焦点状態を示すフォーカス信号を出力する焦点状態検出器14,15 と、複数の領域の1つ111 を所望の焦点状態にして走査した時のフォーカス信号をテンプレートデータとして記憶するテンプレート記憶部17と、試料を走査する時に各領域毎の走査位置に対応してテンプレートデータを読み出し、テンプレートデータとフォーカス信号とを比較し、2つの信号の差が無くなるように制御する焦点制御信号を発生する比較器とを備える。

Claim (excerpt)：

同一形状を有する複数の領域が形成された試料の表面を走査して前記試料の表面画像を生成すると共に焦点状態を示すフォーカス信号を出力する走査式顕微鏡の焦点補正方法であって、前記複数の領域の1つを、前記走査式顕微鏡の焦点状態を所望の状態にして走査し、走査に伴って変化する前記フォーカス信号をテンプレートデータとして記憶し、前記試料の表面を走査する時に、各領域毎に走査に対応する前記テンプレートデータを読み出し、前記フォーカス信号と前記テンプレートデータとの差を求め、前記差を無くすように、前記走査式顕微鏡の焦点状態を補正することを特徴とする走査式顕微鏡の焦点補正方法。

IPC (4)：

G02B 21/00 ,  G01B 9/04 ,  G02B 7/28 ,  H01L 21/66

FI (5)：

G02B 21/00 ,  G01B 9/04 ,  H01L 21/66 J ,  G02B 7/11 J ,  G02B 7/11 N

F-Term (27)：

2F064MM04 ,  2F064MM23 ,  2F064MM24 ,  2F064MM26 ,  2H051AA11 ,  2H051BA47 ,  2H051CE14 ,  2H051DA03 ,  2H051DA07 ,  2H051GB12 ,  2H052AA07 ,  2H052AD05 ,  2H052AD09 ,  2H052AD14 ,  2H052AF15 ,  2H052AF17 ,  2H052AF22 ,  4M106AA01 ,  4M106BA10 ,  4M106CA24 ,  4M106CA38 ,  4M106DB18 ,  4M106DB20 ,  4M106DH03 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ05 ,  4M106DJ32