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J-GLOBAL ID：200903074602149705
原子間力顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松田 正道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992198593
Publication number (International publication number)：1994042953
Application date： Jul. 24, 1992
Publication date： Feb. 18, 1994
Summary：
【要約】【目的】 カンチレバーの探針と試料間に発生する摩擦力の影響をなくし、表面形状を安定に精度良く測定するための原子間力顕微鏡を提供すること。【構成】 カンチレバー6の探針12のX方向への移動時にZ方向圧電体3を用いて、探針12と試料5を引き離しておき、移動後に、再び接触させ、カンチレバー6の変位量を検出する。
Claim (excerpt)：
試料表面の各点での力によるカンチレバーの変位量を画像化する原子間力顕微鏡において、前記試料表面の1点から別の点への移動前に、試料と前記カンチレバーの探針を相対的に引き離し、移動後に前記引き離し距離と実質上等しい距離だけ、前記試料と前記カンチレバーの探針とを相対的に接近させる操作を繰り返すための駆動・制御手段を備えたことを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (2)：
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