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J-GLOBAL ID：200903074602321206

高周波電源装置及びプラズマ発生装置

Inventor： 太田 竜介 ,  関沢 義広
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社 ,  株式会社富士通東北エレクトロニクス
Agent (1)： 岡本 啓三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993330663
Publication number (International publication number)：1995191764
Application date： Dec. 27, 1993
Publication date： Jul. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 高周波電源装置及びプラズマ発生装置の改善に関し、プラズマ発生用の高周波電力やチューナ位置を自動調整して、電力検出器の固体差と経時的なドリフトとを解消すること、及び、プラズマ以外で損失される電力を極力低減すること。【構成】 電源装置は、規定周波数の入力信号を増幅する増幅器11と、増幅された高周波電力の情報を検出する電力検出器12と、検出された高周波電力の情報を二値化した電力検出データD11と予め設定された初期特性データDR及び電力設定データDthから利得制御データD12を求め、利得制御データD12に基づいて増幅器11の出力制御をする制御器13とを備える。発生装置は、プラズマを発生するチャンバに設けられた電極と、この電極に高周波電力を供給する高周波電源とを備え、この高周波電源が、本発明の高周波電源装置を有する。

Claim (excerpt)：

規定周波数の入力信号を増幅する増幅器(11)と、前記増幅された高周波電力の情報を検出する電力検出器(12)と、前記検出された高周波電力の情報を二値化した電力検出データ(D11)と予め設定された初期特性データ(DR)及び電力設定データ(Dth1)から利得制御データ(D12)を求め、前記利得制御データ(D12)に基づいて増幅器(11)の出力制御をする制御器(13)とを備えることを特徴とする高周波電源装置。

IPC (3)：

G05F 1/10 ,  H01L 21/3065 ,  H05H 1/46