Pat

J-GLOBAL ID：200903074607872456

マイクロレンズの形成方法

Inventor： 山▲崎▼ 誓一 ,  西嶋 啓 ,  新井 薫
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992277608
Publication number (International publication number)：1994130205
Application date： Oct. 16, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 液晶表示素子のガラス基板上に直接集光用のマイクロレンズを形成する方法に関し、レンズ形成後熱を加えても変形することのないマイクロレンズの形成方法の提供を目的とする。【構成】 平行光線を出射する光源3と嫌気性を有する光硬化性樹脂22が塗布された透明基板1との間に、遮光膜42により仕切られた複数の光透過窓43を具えてなる遮光マスク4を配設すると共に、光硬化性樹脂22を露光する間に段階的または連続的に少なくとも1回は透明基板1と遮光マスク4の間隔を変化させ、露光後硬化していない光硬化性樹脂22を現像処理によって除去するように構成する。

Claim (excerpt)：

透明基板(1) 上に所定の間隔で配列された複数のマイクロレンズ(2) を形成する方法であって、平行光線を出射する光源(3) と嫌気性を有する光硬化性樹脂(22)が塗布された該透明基板(1) との間に、遮光膜(42)により仕切られた複数の光透過窓(43)を具えてなる遮光マスク(4) を配設すると共に、該光硬化性樹脂(22)を露光する間に段階的または連続的に少なくとも1回は、該透明基板(1) と該遮光マスク(4) の間隔が変化するよう構成し、露光後硬化していない該光硬化性樹脂(22)を現像処理によって除去することを特徴としたマイクロレンズの形成方法。

IPC (4)：

G02B 3/00 ,  G02B 5/02 ,  G02F 1/1333 500 ,  G02F 1/1335