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J-GLOBAL ID:200903074625975173

走査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994086046
Publication number (International publication number):1995270701
Application date: Mar. 31, 1994
Publication date: Oct. 20, 1995
Summary:
【要約】【目的】 共振周波数を高い帯域に設定して追従特性の良好な走査装置を提供する。【構成】 ミラー1をアクチュエータ5によって往復回動して光偏向を行う走査光学系において、ミラー1の裏面を支持するプレート部7とプレート部7の基準面がアクチュエータ5の回動軸4の軸心に平行になるようにプレート部7を回動軸4に連結する連結部8とを備えた走査装置。
Claim (excerpt):
1面を鏡面とした平板状の走査鏡をアクチュエータによって往復回動して光偏向を行う走査光学系において、該走査鏡の裏面を支持する基準面を具備した板状部材と、該板状部材の該基準面が該アクチュエータの回動軸の軸心に平行となるべく該板状部材を該アクチュエータの該回動軸に連結する連結部材とを具備したことを特徴とする走査装置。
IPC (2):
G02B 26/10 101 ,  G02B 7/198

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