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J-GLOBAL ID：200903074634463525
半導体加速度センサ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
佐藤 成示 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995133652
Publication number (International publication number)：1996327656
Application date： May. 31, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：
【要約】【目的】 耐衝撃性に優れ、重り部の変位量を確実に規制できるようにする。【構成】 中央に凸部1aを有する重り部1 と、加速度により撓むよう重り部1 の凸部1aに連設された中央連設部2aから重り部1 と所定寸法の空隙2bを有して互いに直交する4方向へ十字状に延設された4個の撓み部2 と、4個の撓み部2 の各端部2cを支持する支持部3 と、を半導体基板を加工して形成されたものであって、加速度に比例する電圧が撓み部2 に設けたピエゾ抵抗(図示せず)を含むブリッジ回路の出力として取り出される半導体加速度センサにおいて、加速度が加わったときに前記重り部1 が当接し得る当接部3aを互いに隣接する2個の前記撓み部2 の中間位置に設けた構成にしてある。
Claim (excerpt)：
中央に凸部を有する重り部と、加速度により撓むよう重り部の凸部に連設された中央連設部から重り部と所定寸法の空隙を有して複数方向へ延設された複数の撓み部と、複数の撓み部の各端部を支持する支持部と、を半導体基板を加工して形成されたものであって、加速度に比例する電圧が撓み部に設けたピエゾ抵抗を含むブリッジ回路の出力として取り出される半導体加速度センサにおいて、加速度が加わったときに前記重り部が当接し得る当接部を互いに隣接する2個の前記撓み部の中間位置に設けたことを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01P 15/12
, G01P 15/02 A
