絶縁部材の表面処理方法及び絶縁部材の表面処理装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003331627
Publication number (International publication number)：2005095744
Application date： Sep. 24, 2003
Publication date： Apr. 14, 2005
Summary：

【課題】プラズマを用いた表面処理を行なった後の表面処理の効果の低減を少なくする絶縁部材の表面処理方法及び絶縁部材の表面処理装置を提供する【解決手段】絶縁材料により形成される被処理物Pを移動させる搬送手段1と、プラズマ生成用ガスGが流入する流入口2aaと生成されたプラズマPLを被処理物Pに向けて吹き出す吹出口2abとを備える反応容器2aと、反応容器2a内に流入したプラズマ生成用ガスGに電圧を与えてプラズマPLを生成するプラズマ生成部2bと、被処理物Pから非接触で電荷を取り除く除電部3とを備え、搬送手段1は、反応容器2aから吹き出されたプラズマPLと接触する位置から除電部3により非接触で電荷が取り除かれる位置に被処理物Pを移動させるように形成している。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

反応容器内のプラズマ生成用ガスに電圧を印加することによりプラズマを生成し、生成されたプラズマを絶縁材料により形成される被処理物に接触させてから、その被処理物を除電する処理を行う絶縁部材の表面処理方法。

IPC (4)：

B01J19/08 , B08B7/00 , H01L21/3065 , H05H1/24

FI (4)：

B01J19/08 E , B08B7/00 , H05H1/24 , H01L21/302 102

F-Term (22)：

3B116AA02 , 3B116AA46 , 3B116AB14 , 3B116BB89 , 3B116BC01 , 4G075AA30 , 4G075BC10 , 4G075CA47 , 4G075DA02 , 4G075EA01 , 4G075EA03 , 4G075EB41 , 4G075EC21 , 4G075EC25 , 4G075ED11 , 4G075EE02 , 5F004AA14 , 5F004BA20 , 5F004BB13 , 5F004BB24 , 5F004DB00 , 5F004FA08

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

特許3147137号公報

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