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J-GLOBAL ID：200903074663047778

リン拡散用組成物

Inventor： 中馬 明博
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 広瀬 章一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995082677
Publication number (International publication number)：1996283100
Application date： Apr. 07, 1995
Publication date： Oct. 29, 1996
Summary：

【要約】【目的】 リン供給源とアルコキシシランの部分加水分解物とを有機溶媒に溶解した溶液からなる、塗布拡散法によりシリコンウェーハにリンをドーピングするためのリン拡散用組成物において、溶液の保存安定性を高め、20Ω/□以下の低抵抗の不純物拡散領域を確実に形成する。【構成】 リン供給源として、五酸化リンとヘキサアルキルジシロキサンとの反応物を使用する。

Claim (excerpt)：

リン供給源とアルコキシシランの部分加水分解物とを含む、塗布拡散法によりシリコンウェーハにリンをドーピングするためのリン拡散用組成物であって、リン供給源が五酸化リンと有機ジシロキサン化合物との反応物であることを特徴とする、リン拡散用組成物。

IPC (3)：

C30B 31/00 ,  C07F 9/09 ,  H01L 21/225

FI (3)：

C30B 31/00 ,  C07F 9/09 Z ,  H01L 21/225 R