Pat
J-GLOBAL ID：200903074692717006
中性化学種の検出方法および装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996315912
Publication number (International publication number)：1998163171
Application date： Nov. 27, 1996
Publication date： Jun. 19, 1998
Summary：
【要約】【課題】マイクロ波プラズマエッチングにおいて、生成した中性化学種を負イオン化した後、高精度でモニタしてエッチング終点を検出する。【解決手段】プラズマから入射する電子およびイオンのリタード手段,中性化学種の負イオン化手段,負イオンの質量分離手段、および負イオンの検出手段から構成される。
Claim (excerpt)：
マイクロ波プラズマエッチングにおいて、荷電粒子をリタードした後、中性化学種を負イオン化し、負イオン化した化学種を質量分析し検出することを特徴とする中性化学種の検出方法。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/302 E
, C23F 4/00 F
