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J-GLOBAL ID：200903074725787153

有機金属化学蒸気浸透による無機膜の製法

Inventor： マイクル・フランシス・カロラン ,  ポール・ナイジエル・ダイアー ,  ステイーブン・マーク・フアイン ,  アレグザンダー・マキトカ・ザサード ,  ロビン・エドワード・リチヤーズ ,  レズリー・エロル・シヤーフアー
Applicant, Patent owner： エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド
Agent (1)： 高木 千嘉 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992348217
Publication number (International publication number)：1994142471
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： May. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、酸素含有気体混合物から酸素を分離することができる無機薄膜の製法に関する。【構成】 この薄膜は、多孔性支持体上に沈着された多成分金属酸化物の薄い層の多孔性複合体よりなり、多成分金属酸化物層の孔は金属ベースの品種で充填されている。この無機薄膜は、多孔性支持体上に多孔性多成分金属酸化物層を沈着させて気体を輸送することができる孔の網状構造を有する多孔性複合体を形成させることによって形成される。孔の網状構造は有機金属蒸気浸透によって栓形成又は充填されて貫通多孔性を本質的に有さない無機薄膜を形成する。

Claim (excerpt)：

酸素含有気体混合物から酸素を分離することができる無機薄膜の製法であって、(a) 多孔性支持体上に多孔性多成分金属酸化物を沈着させて気体を輸送することができる小孔の網状組織を有する多孔性複合体を形成させ;(b) この多孔性複合体の第一の表面を蒸気化した有機金属コンプレックスと、そしてこの多孔性複合体の第二の表面を気体反応性剤と、有機金属コンプレックス及び気体反応性剤が反応して多孔性多成分金属酸化物層の小孔中栓を形成させるのに充分な温度及び圧力において接触させて本質的に貫通多孔性を有さない無機薄膜を形成させることを特徴とする方法。