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J-GLOBAL ID:200903074730581555
モアレ縞観察装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
影井 俊次
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993145387
Publication number (International publication number):1994331330
Application date: May. 26, 1993
Publication date: Dec. 02, 1994
Summary:
【要約】【目的】 モアレ縞観察装置のケーシングを被測定物体に相対移動可能に設置した時に、そのこのケーシング内部及び格子板と被測定物体との間の部位に外光が入り込まないようにする。【構成】 モアレ縞観察装置のケーシング10は、ベルト1上における所定の位置に固定的に載置して、このベルト1を走行させながら、その全体の表面凹凸形状の測定が行われるもので、転動ローラ15及びガイドローラ18のみがベルト1と接触し、ケーシング10自体はベルト1に対して非接触状態に保持されるが、ケーシング10の底面部における格子板11の配設部の周囲には、所定の幅を有する台紙テープ23に多数の線条24を植設してなるブラシ状の遮光部材22が、その毛先の部分がベルト1の表面に軽く接触する程度に当接しており、これによってケーシング10を安定させ、かつベルト1の走行の円滑性を確保した状態で、ケーシング10の内部及び格子板11のベルト1に対する格子パターンの投影部分に外光が入り込まないように遮光される。
Claim (excerpt):
ケーシングの底面部に開口部を形成して、この開口部に被測定物体の表面の三次元形状に基づくモアレ縞を形成する格子板を臨ませて設け、またこの格子板に対して照明光を照射する照明ランプをケーシングに内装すると共に、ケーシング上部にはモアレ縞の観察窓を設けて、ケーシングと被測定物体とを相対移動させながら、この被測定物体の表面凹凸形状を観察できるようになし、さらにこのケーシングには、それと被測定物体との間における格子板配設部の周囲に、前記被測定物体に対して摺動可能な遮光部材を設ける構成としたことを特徴とするモアレ縞観察装置。
IPC (2):
G01B 11/24
, G01B 11/30 102
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