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J-GLOBAL ID：200903074734926271

擬似位相整合水晶の製造方法及び擬似位相整合水晶

Inventor： 原田 昌樹 ,  栗村 直
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン ,  独立行政法人物質・材料研究機構
Agent (1)： 細江 利昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002275999
Publication number (International publication number)：2004109914
Application date： Sep. 20, 2002
Publication date： Apr. 08, 2004
Summary：

【課題】目的とする形状の結晶軸反転領域を形成することが容易な擬似位相整合水晶の製造方法を提供する。【解決手段】水晶基板1の片側の表面には、長方形の凸部2が形成されているが、この凸部2は、さらに細かな長方形の凸部4の集合体として形成されている。凸部4相互の間には、凸部4の表面より低い凹部5が形成されているが、この凹部5の幅は狭く、巨視的に見た場合には、凸部4が多数集まって一つの凸部2を形成している。このような水晶基板1を、上下方向からヒーターブロックで挟み込み、水晶基板の温度を昇温して所望の温度に到達した時点で、プレスにより押圧する。すると、凸部4に相当する部分のみに応力が作用し、この部分でのみ結晶軸成分が反転する。この結晶軸反転部分が結晶内部まで成長して結晶内部まで伝播し、凸部4に対応する部分がつながって、結晶軸反転領域6が形成される。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

周期的又は任意のパターンからなる凸部を有するように表面段差加工を施した水晶に、所定の温度で平面基板を押し付けて圧力を印加することにより、前記凸部に対応する部分の結晶軸を反転せしめる工程を有する擬似位相整合水晶の製造方法であって、前記周期的又は任意のパターンからなる凸部が、さらに細かなパターンの凸部の集合からなることを特徴とする擬似位相整合水晶の製造方法。

IPC (1)：

G02F1/37

FI (1)：

G02F1/37

F-Term (7)：

2K002AA04 ,  2K002AB13 ,  2K002CA02 ,  2K002FA17 ,  2K002FA27 ,  2K002GA04 ,  2K002HA20