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J-GLOBAL ID：200903074757239549

光電変換装置及びそのリペア方法

Inventor： 八木 朋之
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 山下 穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000191527
Publication number (International publication number)：2002009272
Application date： Jun. 26, 2000
Publication date： Jan. 11, 2002
Summary：

【要約】【課題】 読み出し回路と信号転送線とが電気的に切断された光電変換装置において、レーザーリペアを行い、欠陥画素に隣接する画素の出力を正常にして、安定した画質とセンサー製造の歩留まり向上の両立を図る。【解決手段】 511〜516の箇所の中で、実際にリペアする箇所についてレーザー照射し、表面の保護膜、信号転送線508を形成する電極層、N+型a-Si層、a-Si層や絶縁層となるa-SiNx膜を切断する。レーザーリペア箇所は、信号転送線508とゲートバイアス線505との交差部近傍で、ゲートバイアス線505に対して断線などの影響を及ぼさない場所が望ましい。信号転送線508とゲートバイアス線505との交差部のレーザーリペアについては、読み出し回路と電気的に切断された信号転送線508のすべてに行ってもかまわない。又、交差部すべてに行わず、画像に影響が出なくなる程度でとどめても良い。

Claim (excerpt)：

光を受光して光電効果により電気信号へ変換する光電変換素子と、前記光電変換素子により変換された電気信号を読み出し回路へ転送するスイッチング素子と、電気信号を読み出し回路に転送する信号転送線とを複数個有する光電変換装置のリペア方法であって、前記信号転送線と前記読み出し回路とが電気的に切断された状態である場合には、その信号転送線と他の配線が交差する箇所を切断することを特徴とする光電変換装置のリペア方法。

IPC (6)：

H01L 27/146 ,  H01L 27/14 ,  H01L 29/786 ,  H01L 31/04 ,  H04N 5/335 ,  G01T 1/20

FI (7)：

H04N 5/335 Z ,  G01T 1/20 E ,  H01L 27/14 C ,  H01L 27/14 K ,  H01L 29/78 612 C ,  H01L 29/78 613 Z ,  H01L 31/04 K

F-Term (51)：

2G088EE01 ,  2G088FF02 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ33 ,  2G088JJ36 ,  2G088JJ37 ,  2G088LL12 ,  4M118AA07 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118CA05 ,  4M118CA11 ,  4M118CB11 ,  4M118FB03 ,  4M118FB09 ,  4M118FB13 ,  4M118FB16 ,  4M118GA10 ,  5C024AX16 ,  5C024CY47 ,  5C024EX25 ,  5C024GY31 ,  5C024GZ01 ,  5F051AA05 ,  5F051BA05 ,  5F110AA27 ,  5F110BB10 ,  5F110CC07 ,  5F110DD02 ,  5F110EE04 ,  5F110EE44 ,  5F110EE48 ,  5F110FF03 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG24 ,  5F110GG44 ,  5F110HK03 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK21 ,  5F110HK33 ,  5F110HK34 ,  5F110HK42 ,  5F110NN02 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27