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J-GLOBAL ID：200903074766376567

静電結合を用いる圧力検出装置

Inventor：
小川 保二

About 小川 保二


Applicant, Patent owner：
株式会社シロク

About 株式会社シロク


Agent (2)： 石原 昌典 ,  生井 和平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003405286
Publication number (International publication number)：2005164448
Application date： Dec. 04, 2003
Publication date： Jun. 23, 2005
Summary：
【課題】高精度に圧力を測定でき、ノイズにも強くあらゆる場所で使用可能な静電結合を用いる圧力検出装置を提供する。【解決手段】圧力検出装置に用いられるセンサ部は、第1電極と、第1電極と重なるように設けられる第2電極と、第2電極と重なるように設けられる第3電極と、第1電極と第2電極との間に設けられる第1誘電体層と、第2電極と第3電極との間に設けられる、第1誘電体層とは弾性率の異なる第2誘電体層とからなる。駆動部により第1電極及び第3電極が駆動される。そして、検出部が、第2電極からの静電結合による信号から、第1電極と第3電極との間にかかる圧力を差動的に検出する。【選択図】図2
Claim (excerpt)：
静電結合を用いる圧力検出装置であって、該圧力検出装置は、 第1電極と、 前記第1電極と重なるように設けられる第2電極と、 前記第2電極と重なるように設けられる第3電極と、 前記第1電極と第2電極との間に設けられる第1誘電体層と、 前記第2電極と第3電極との間に設けられる、前記第1誘電体層とは弾性率の異なる第2誘電体層と、 を有するセンサ部と、 前記第1電極及び第3電極に、又は第2電極に電圧を印加する駆動部と、 前記駆動部により駆動された電極以外の電極からの静電結合による信号から、前記第1電極と第3電極との間にかかる圧力を検出する検出部と、 を具備することを特徴とする圧力検出装置。
IPC (2)：
G01L1/14 ,  G01L5/00
FI (2)：
G01L1/14 J ,  G01L5/00 101Z
F-Term (2)：
2F051AB06 ,  2F051BA07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
  • 特開昭62-226030号公報
  • 特開平2-078925
  • 静電容量型力センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-198482   Applicant：工業技術院長, ルビコン株式会社
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Cited by examiner (3)
  • 特開平2-078925
  • 静電容量型力センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-198482   Applicant：工業技術院長, ルビコン株式会社
  • 静電容量式センサの診断装置および方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-302843   Applicant：大阪瓦斯株式会社, 株式会社センサー技術研究所

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