Pat

J-GLOBAL ID：200903074799088346

慣性力センサ

Inventor： 平田 善明 ,  番 政広 ,  紺野 伸顕
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (2)： 河宮 治 ,  石野 正弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003124795
Publication number (International publication number)：2004333133
Application date： Apr. 30, 2003
Publication date： Nov. 25, 2004
Summary：

【課題】周囲の温度変化によるアンカー部の歪みないし変位を防止ないし低減することができ、出力零点のずれが生じない温度安定性に優れた慣性力センサを提供する。【解決手段】慣性力センサには、単結晶シリコン基板を一体加工することにより、ばね1と、アンカー2と、梁3と、質量体4と、アイランド電極7a、7bと、枠10とが一体形成されたデバイス層11が設けられている。この慣性力センサでは、アンカー2とアイランド電極7aとの電気的接続は、デバイス層11を一体加工することにより形成されたばね1で行われている。そして、下面基板12に対するアンカー2の接合面積は、下面基板7aに対するアイランド電極7aの接合面積より小さくなっている。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

上側基板もしくは下側基板もしくは上下基板に接合されたデバイス層に、少なくとも一方の基板に固定されたアンカー部と、アンカー部によって支持された梁と、梁によって変位可能に支持される一方可動電極を備えた質量体と、固定電極を備えた固定電極用電極部とが一体形成され、慣性力に起因する質量体の変位に伴う可動電極と固定電極との間の静電容量変化により該慣性力を測定するようになっている慣性力センサであって、 デバイス層に、基板に固定された可動電極用電極部と、該可動電極用電極部とアンカー部とを電気的に接続するばね構造とが一体形成されていることを特徴とする慣性力センサ。

IPC (2)：

G01P15/125 ,  H01L29/84

FI (2)：

G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z

F-Term (18)：

4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA26 ,  4M112CA35 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA08 ,  4M112DA15 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA11 ,  4M112EA13 ,  4M112FA03 ,  4M112FA05 ,  4M112FA09 ,  4M112FA20