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J-GLOBAL ID：200903074875900560
赤外線センサおよびその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993033719
Publication number (International publication number)：1994249708
Application date： Feb. 23, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：
【要約】【目的】 赤外線検出部が形成された半導体基板と赤外線フィルタとのプリアッセンブリを実現することにより、工数を低下して量産性の向上を図る。【構成】 赤外線検出部203が形成された半導体基板201と、赤外線検出部203へ赤外光を導く赤外線フィルタ部212とを備えた赤外線センサにおいて、半導体基板201の表面に一体に設けられたシリコン基板101により赤外線フィルタ部212を構成し、かつ、シリコン基板101および半導体基板201の少なくとも一方に、赤外線フィルタ部212から赤外線検出部203への赤外線導光路に対応する領域に空洞210を形成した。
Claim (excerpt)：
赤外線検出部が形成された半導体基板と、前記赤外線検出部へ赤外光を導く赤外線フィルタ部とを備えた赤外線センサにおいて、前記赤外線フィルタ部は、前記半導体基板の表面に一体に設けられたシリコン基板からなり、前記シリコン基板および前記半導体基板の少なくとも一方には、前記赤外線フィルタ部から前記赤外線検出部への赤外線導光路に対応する領域に空洞が形成されていることを特徴とする赤外線センサ。
IPC (3)：
G01J 1/02
, G01J 1/04
, H01L 37/00
