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J-GLOBAL ID：200903074906266244

移動ステージ機構およびこれを用いた露光装置

Inventor： 海老沼 隆一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993324965
Publication number (International publication number)：1995183192
Application date： Dec. 22, 1993
Publication date： Jul. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ステージの移動速度および位置決め精度を向上することができ、発熱が低減され、信頼性の高い移動機構を実現すること。【構成】 ステージを移動する推力を発生する第1及び第2のアクチュエータユニットと、前記第1のアクチュエータユニットによる推力のステージへの伝達状態を制御するためのクラッチとを有し、前記第2のアクチュエータユニットおよびクラッチは、第1のアクチュエータユニットとステージとの間に並列に設けられていることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

ステージを移動する推力を発生する第1及び第2のアクチュエータユニットと、前記第1のアクチュエータユニットによる推力のステージへの伝達状態を制御するためのクラッチとを有し、前記第2のアクチュエータユニットおよびクラッチは、第1のアクチュエータユニットとステージとの間に並列に設けられていることを特徴とする移動ステージ機構。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/68