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J-GLOBAL ID：200903074908060627

走査型プローブ顕微鏡とその探針製造方法

Inventor： 近藤 誠一 ,  和田 恭雄 ,  五十嵐 万壽和 ,  永野 久志 ,  梶山 博司
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992017455
Publication number (International publication number)：1993215509
Application date： Feb. 03, 1992
Publication date： Aug. 24, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明の目的は、走査型プローブ顕微鏡の走査する時間を短縮すること。【構成】走査型プローブ顕微鏡の探針を複数個、同時に走査する。複数の探針とこれに対向する固体表面上に配置された所定の原子の有無によって、固体表面上に記録および読み出しをする。

Claim (excerpt)：

固体表面上に複数の探針を形成するとともに、これらを一つの駆動体で同時に移動させることことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01B 7/34 ,  H01J 9/14 ,  H01J 37/28