不揮発性半導体メモリ、不揮発性半導体メモリを備えた表示装置及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999056888
Publication number (International publication number)：2000252373
Application date： Mar. 04, 1999
Publication date： Sep. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】画素駆動用の薄膜トランジスタと同一の製造工程を用いて、高性能化及び低コスト化を達成することができる不揮発性半導体メモリを備えた表示装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】不揮発性半導体メモリ12のメモリセルでは、ガラス基板2上の高融点金属材の制御ゲート22上にゲート絶縁膜24を介して電荷蓄積層26が形成され、さらに電荷授受用絶縁膜32を介して制御ゲート22と交差する活性層34が形成されている。制御ゲート22間の活性層34には、ソース・ドレイン36が形成されている。また、同一のガラス基板2上に形成される画像表示部4の画素駆動用トランジスタでは、ガラス基板2上の制御ゲート22上にゲート絶縁膜24を介して活性層28が形成され、さらに活性層28上に活性層34が形成されている。制御ゲート22の両側の活性層34には、ソース・ドレイン36が形成されている。

Claim (excerpt)：

基板上に形成された高融点金属材からなる制御ゲートと、前記制御ゲート上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された電荷蓄積層と、前記電荷蓄積層上に形成された電荷授受用絶縁膜と、前記電荷授受用絶縁膜上に形成された半導体層と、前記半導体層における前記電荷蓄積層上の領域を挟持するように前記半導体層に形成されたソース・ドレインと、を具備することを特徴とする不揮発性半導体メモリ。

IPC (9)：

H01L 21/8247 , H01L 29/788 , H01L 29/792 , G02F 1/1365 , G09F 9/30 338 , H01L 27/115 , H01L 27/10 481 , H01L 29/786 , H04N 5/66 102

FI (8)：

H01L 29/78 371 , G09F 9/30 338 , H01L 27/10 481 , H04N 5/66 102 A , G02F 1/136 500 , H01L 27/10 434 , H01L 29/78 612 B , H01L 29/78 612 C

F-Term (142)：

2H092JA26 , 2H092JA29 , 2H092JA38 , 2H092JA42 , 2H092JB13 , 2H092JB23 , 2H092JB32 , 2H092JB33 , 2H092JB51 , 2H092JB61 , 2H092KA04 , 2H092KA07 , 2H092KA12 , 2H092KA16 , 2H092KA18 , 2H092KA22 , 2H092MA05 , 2H092MA08 , 2H092MA14 , 2H092MA15 , 2H092MA16 , 2H092MA18 , 2H092MA19 , 2H092MA20 , 2H092MA24 , 2H092MA27 , 2H092MA30 , 2H092MA31 , 2H092MA35 , 2H092MA37 , 2H092MA41 , 2H092NA25 , 2H092NA27 , 2H092NA29 , 2H092PA06 , 5C058AA09 , 5C058AB01 , 5C058BA01 , 5C058BA35 , 5C058BB13 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094AA51 , 5C094AA56 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA09 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094DB04 , 5C094DB10 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094FA01 , 5C094FA02 , 5C094FA10 , 5C094FB02 , 5C094FB12 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5C094GA10 , 5C094GB10 , 5F001AA06 , 5F001AA63 , 5F001AB04 , 5F001AB08 , 5F001AD08 , 5F001AD41 , 5F001AD53 , 5F001AD70 , 5F001AG07 , 5F001AG24 , 5F001AG30 , 5F001AG31 , 5F001AG40 , 5F083EP23 , 5F083EP44 , 5F083EP54 , 5F083EP56 , 5F083EP76 , 5F083EP77 , 5F083ER21 , 5F083GA28 , 5F083GA30 , 5F083HA10 , 5F083JA02 , 5F083JA06 , 5F083JA32 , 5F083JA36 , 5F083JA39 , 5F083PR29 , 5F083PR33 , 5F083PR40 , 5F083PR43 , 5F083PR44 , 5F083PR45 , 5F083PR53 , 5F083PR54 , 5F083PR55 , 5F083ZA11 , 5F110AA03 , 5F110AA06 , 5F110AA07 , 5F110AA12 , 5F110AA16 , 5F110AA19 , 5F110AA30 , 5F110BB02 , 5F110BB08 , 5F110CC07 , 5F110CC08 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE09 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110GG02 , 5F110GG13 , 5F110GG15 , 5F110GG22 , 5F110GG35 , 5F110HJ16 , 5F110HJ17 , 5F110HL03 , 5F110NN44 , 5F110NN46 , 5F110NN47 , 5F110NN62 , 5F110NN78 , 5F110NN80 , 5F110PP03 , 5F110PP11 , 5F110PP16 , 5F110QQ08 , 5F110QQ11 , 5F110QQ12 , 5F110QQ19 , 5F110QQ21

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