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J-GLOBAL ID：200903075010463225

静電チャック部材およびその製造方法

Inventor： 原田 良夫 ,  竹内 純一
Applicant, Patent owner： トーカロ株式会社
Agent (1)： 小川 順三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995223149
Publication number (International publication number)：1997069554
Application date： Aug. 31, 1995
Publication date： Mar. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】 体積固有抵抗が小さくかつ吸着力が小さいこと、および表面平滑性が悪いと共に、基板との密着性が悪く、また生産性が低いこと。【解決手段】 金属基板上に、金属質溶射被覆のアンダーコートを有し、かつその上にTin O2n-1 型化合物を含有するAl2O3 ・TiO2系セラミック溶射被覆を有する静電チャック部材、および、上記セラミック溶射材料を、30〜750 hpa の圧力に調整されたArガスもしくは空気雰囲気中で、水素ガスを含むプラズマ溶射法によって、前記溶射材料中のTiO2のすべてまたはその一部をTin O2n-1 で表される結晶型化合物に変化させる静電チャック部材の製造方法。

Claim (excerpt)：

金属基板上に、金属質溶射被覆のアンダーコートを有し、かつその上にはTin O2n-1 (n=1〜9)型化合物を含有する Al2O3・TiO2系セラミック溶射被覆を有することを特徴とする静電チャック部材。

IPC (8)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C01G 23/04 ,  C23C 4/10 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H02N 13/00 ,  H01L 21/203

FI (8)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  C01G 23/04 Z ,  C23C 4/10 ,  H01L 21/205 ,  H02N 13/00 D ,  H01L 21/203 Z ,  H01L 21/302 B