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J-GLOBAL ID：200903075015947263

電子ビーム測定装置

Inventor： 原 俊彦 ,  鈴木 健司
Applicant, Patent owner： 株式会社アドバンテスト
Agent (1)： 龍華 明裕
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000123927
Publication number (International publication number)：2005098703
Application date： Apr. 25, 2000
Publication date： Apr. 14, 2005
Summary：

【課題】光が適切に照射されているか否かを容易に検出し、また、光を測定対象上の所定の部分に適切に光を照射する。【解決手段】電子ビームを照射する電子銃16と、電子ビームを所定の焦点に結ぶ電子レンズ系18、24、及び30と、測定対象12を載置可能な測定対象保持部14と、所定の観察領域内の測定対象12についての光による像を検出する光学顕微鏡48と、観察領域内の測定対象12に光を照射するとともに、測定対象12により反射された反射光を受ける変位計44と、変位計44が受けた光に基づいて、測定対象12の位置と、電子レンズ系18、24、及び30の焦点の位置とのずれ量を検出するフォーカス制御部56とを有するように構成する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

電子ビームを用いて、測定対象について所定の測定を行う電子ビーム測定装置であって、 前記電子ビームを照射する電子銃と、 前記電子ビームを偏向する偏向部と、 前記電子ビームを所定の焦点に結ぶ電子レンズ系と、 前記電子ビームに起因して飛散する電子を検出する検出器と、 前記偏向部により前記電子ビームを走査する走査制御部と、 前記測定対象を載置可能な測定対象保持部と、 所定の観察領域内の前記測定対象についての光による像を検出する光学顕微鏡と、 前記観察領域内の前記測定対象に光を照射する照射系と、 前記測定対象により反射された反射光を受ける受光系と、 前記受光系が受けた光に基づいて、前記測定対象の位置と、前記電子レンズ系の前記焦点の位置とのずれ量を検出する位置ずれ量検出部と、 前記検出された前記ずれ量に基づいて、測定対象に前記電子レンズの焦点を合わせる合焦部と、 前記合焦部により前記測定対象に前記電子レンズ系の焦点が合わされている際に所定の測定処理を行う測定部と を有することを特徴とする電子ビーム測定装置。

IPC (7)：

G01B15/00 ,  G01B11/00 ,  G01B15/04 ,  G21K5/00 ,  G21K5/04 ,  H01J37/21 ,  H01J37/28

FI (8)：

G01B15/00 B ,  G01B11/00 H ,  G01B11/00 B ,  G01B15/04 ,  G21K5/00 R ,  G21K5/04 M ,  H01J37/21 B ,  H01J37/28 B

F-Term (45)：

2F065AA04 ,  2F065AA19 ,  2F065BB02 ,  2F065CC17 ,  2F065DD06 ,  2F065DD19 ,  2F065FF01 ,  2F065FF09 ,  2F065FF61 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065RR09 ,  2F065UU04 ,  2F067AA15 ,  2F067AA21 ,  2F067AA53 ,  2F067AA54 ,  2F067CC14 ,  2F067CC15 ,  2F067FF11 ,  2F067HH06 ,  2F067HH13 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK07 ,  2F067LL16 ,  2F067PP12 ,  2F067QQ02 ,  2F067RR12 ,  2F067UU32 ,  5C033DD09 ,  5C033MM01 ,  5C033MM02 ,  5C033NN02 ,  5C033UU02 ,  5C033UU04