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J-GLOBAL ID：200903075021661215
弾性表面波デバイス
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
本庄 伸介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992193471
Publication number (International publication number)：1994011492
Application date： Jun. 26, 1992
Publication date： Jan. 21, 1994
Summary：
【要約】【目的】 表面に接触する部分の空間の温度、湿度または前記空間に存在する所定の物質の濃度の変化に対応して弾性表面波の伝搬時間が変化する弾性表面波デバイスを提供する。【構成】 すだれ状電極2,3に電気信号を入出力すると、すだれ状電極2から3の方向に弾性表面波を励振することができる。弾性表面波の速度は有機薄膜4に接触する部分の空間の温度、湿度または前記空間に存在する所定の物質の濃度に相関する。従って、弾性表面波の伝搬時間から前記温度、前記湿度または前記濃度を算出できる。【効果】 伝搬経路上に有機薄膜を設けることによりデバイスとしての高感度化をさらに向上できる。遅延線発振器などのセンサを構成することができる。
Claim (excerpt)：
圧電基板の一方の板面上に少なくとも2組のすだれ状電極を設けて成り、前記すだれ状電極を設けた側の前記板面に接触する部分の空間の温度、湿度、または前記空間に存在する所定の物質の濃度に対応して、前記すだれ状電極間を伝搬する弾性表面波の伝搬時間が変化する弾性表面波デバイスにおいて、前記圧電基板上の少なくとも前記すだれ状電極の間の領域が有機薄膜で覆われ、前記有機薄膜の膜厚は前記弾性表面波の波長のほぼ1/10に等しいか又はそれ以下であることを特徴とする弾性表面波デバイス。
IPC (5)：
G01N 29/18
, G01K 7/32
, H03H 9/145
, H03H 9/25
, H03H 9/42
