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J-GLOBAL ID：200903075036613640

ポジ型感光性組成物

Inventor： 佐藤 健一郎 ,  上西 一也
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996164696
Publication number (International publication number)：1998010715
Application date： Jun. 25, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：

【要約】【課題】 感度が高く、露光により発生する酸の拡散性が小さく、露光後加熱処理までの経時でレジストパターンの細りが生じたり、レジストパターン表面の形状がT型(T-top)を呈することのないポジ型感光性組成物を提供することである。【解決手段】 酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂、及び活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する特定の構造を有する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

Claim (excerpt)：

酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解性を増大させる基を有する樹脂、及び活性光線または放射線の照射により、スルホン酸を発生する下記一般式(I)または(II)で表される化合物、を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式中、R1 〜R5 はそれぞれ水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子、又は-S-R6 基を示す。R6 はアルキル基、又はアリール基を示す。X- は、【化2】を表す。R10、R11は、各々独立に置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよい環状のアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、置換基を有していてもよいアルコキシ基、置換基を有していてもよいアリール基、置換基を有していてもよいアラルキル基、置換基を有していてもよいアシル基又は-(C=O)-OR13を表す。R12は、水素原子、ハロゲン原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよい環状のアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、置換基を有していてもよいアルコキシ基、置換基を有していてもよいアリール基、置換基を有していてもよいアラルキル基、置換基を有していてもよいアシル基又は-(C=O)-OR13を表す。尚、R10〜R12のうち2つあるいは3つが、メチン鎖とともに環を形成してもよい。R13は水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよい環状のアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、置換基を有していてもよいアルケニル基、置換基を有していてもよいアラルキル基を表す。

IPC (6)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027 ,  C07C381/12

FI (6)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/039 501 ,  C07C381/12 ,  H01L 21/30 502 R