微細表面形状測定装置および触針製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岩橋文雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000303372
Publication number (International publication number)：2002107140
Application date： Oct. 03, 2000
Publication date： Apr. 10, 2002
Summary：

【要約】【課題】機械部品のサブミリオーダの3次元形状を測定するために用いられる微細表面形状測定装置において、高硬度で加工形状の自由度が高い触針を用いて、安定した微細表面形状測定を行うことを目的とする。【解決手段】先端に微細突起部1aを有する片持ち梁構造の触針1bを接着固定した水晶振動子9を駆動回路25により共振周波数付近で振動させて触針の先端に伝え、微細突起部1aが振動により測定対象面に接触すると水晶振動子の振動振幅と振動位相が変化して電極10bから圧電電荷を検出し、振動信号の状態が一定になるように微動ステージ21を振動方向に位置決めして、ステージ17により測定対象16を移動すると、触針先端1aは測定対象面16aの凹凸形状に沿って動き、その形状を安定して測定することができる。

Claim (excerpt)：

梁構造を有する触針が水晶振動子に固定され、水晶振動子が自らの共振周波数で振動し、振動状態検出手段により共振状態の変化を検出することにより前記触針の測定対象面との接触状態を検出する手段と、接触の状態が一定になるように前記触針を水晶振動子の振動方向に位置決めする位置決め手段と、前記触針と測定対称面とを相対的に位置決めする移動手段とを備え、前記測定対象面の形状を測定する微細表面形状測定装置。

IPC (6)：

G01B 21/20 , B81B 7/02 , B81C 5/00 , G01B 7/00 , G01B 7/28 , G01B 21/00

FI (6)：

G01B 21/20 Z , B81B 7/02 , B81C 5/00 , G01B 7/00 U , G01B 7/28 C , G01B 21/00 P

F-Term (52)：

2F063AA41 , 2F063AA43 , 2F063BA25 , 2F063BA30 , 2F063BD06 , 2F063BD12 , 2F063CA30 , 2F063CA31 , 2F063CA40 , 2F063DA02 , 2F063DB04 , 2F063DD02 , 2F063DD03 , 2F063EA16 , 2F063EB02 , 2F063EB05 , 2F063EB23 , 2F063EB27 , 2F063EC09 , 2F063HA00 , 2F063HA10 , 2F063LA04 , 2F063LA05 , 2F063LA11 , 2F069AA62 , 2F069AA66 , 2F069BB38 , 2F069BB40 , 2F069DD06 , 2F069DD13 , 2F069DD26 , 2F069DD30 , 2F069GG01 , 2F069GG06 , 2F069GG07 , 2F069GG19 , 2F069GG51 , 2F069GG62 , 2F069HH30 , 2F069JJ06 , 2F069JJ25 , 2F069KK01 , 2F069LL03 , 2F069LL06 , 2F069LL10 , 2F069MM02 , 2F069MM04 , 2F069MM13 , 2F069MM24 , 2F069MM32 , 2F069MM34 , 2F069RR03

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