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J-GLOBAL ID：200903075057730540
表面状態検査方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
戸島 省四郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998296107
Publication number (International publication number)：2000111493
Application date： Oct. 03, 1998
Publication date： Apr. 21, 2000
Summary：
【要約】【課題】 移動中又は高温の物体でも検査でき、しかも検査装置の位置・姿勢・距離が多少変化しても正確に且つ非接触方式で検査できる表面状態検査方法を提供する。【解決手段】 レーザー光を物体Bの被検査面に斜めに投射し、同レーザー光の被検査面からの反射光を面的又は線的にCCDカメラ7で受光し、その光の強さとその受光位置との間の光の強さの分布図を作成し、同分布図を正規分布に近似させたときの標準偏差を求め、同標準偏差と物体の表面粗さとの関係を実験又は計算で予め決めた標準偏差と表面粗さとの対応関係から上記計測した標準偏差に対応した物体の表面粗さを求める。
Claim (excerpt)：
レーザー光を物体の被検査面に斜めに投射し、同レーザー光の被検査面からの反射光を面的又は線的に光感知センサーで受光し、その光の強さとその受光位置との間の光の強さの分布図を作成し、同分布図を正規分布に近似させたときの標準偏差を求め、同標準偏差と物体の表面粗さとの関係を実験又は計算で予め決めた標準偏差と表面粗さとの対応関係から上記計測した標準偏差に対応した物体の表面粗さを求める表面状態検査方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/88 Z
, G01N 21/89 610 Z
2G051AA90
, 2G051AB07
, 2G051AB20
, 2G051BA10
, 2G051BB07
, 2G051CA03
, 2G051CB01
, 2G051DA06
, 2G051EA03
, 2G051EA11
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EB09
, 2G051EC02
, 2G051EC03
