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J-GLOBAL ID：200903075065302522
放電ランプ光源装置及び方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大島 陽一
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000526942
Publication number (International publication number)：2003518316
Application date： Dec. 28, 1998
Publication date： Jun. 03, 2003
Summary：
【要約】 極紫外線マイクロリソグラフィ用のキャピラリ放電極紫外線ランプ光源装置及び方法である。キャピラリ光源はランプ本体(306)と、電極を備える孔(300)と、絶縁体(302)と、放電プラズマ領域(304)とを備える。
Claim (excerpt)：
11nm〜14nmの波長領域においてキャピラリ放電光源を動作させる方法であって、 (a)孔サイズが約1mmで、少なくとも1つの放射用気体を有する 細管光源内に、放電電流が約2000〜10000Aである放電を形成する過程と、 (b)前記放電光源から約11nm〜約14nmの選択された波長領域を放射する過程とを有することを特徴とする方法。
Article cited by the Patent：
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